DS(27)
このリニアガイドは,通常の使われ方より運転速度が3倍と速いため,特殊なものを新規開発した.さらに,70ミクロン以下の並行度の取り付け精度のものとし,サドルは高剛性で軽量にするため,鋼管構造を採用した.
モーション装置のサーボ系の要求応答性を達成するための機械系の固有周波数は42Hz以上で,開発後実証すると45Hzと設計値を満足していた.XY並進装置単体のアッセンブリ状態でステップ応答を評価すると,開発目標値の時定数30ミリ秒を達成していた.
また,実際のテストコースでの実車によるレーンチェンジと,DSで再生した加速度,ヨーレイトを比較すると,実車に対し少ない遅れで追従し最大加速度も呈示できている.よって,車両挙動を再現できているといえる.
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